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Le fabricant d’équipements de puces Lam Research a présenté Dextro, le premier robot collaboratif (cobot) de l’industrie des puces conçu pour optimiser les tâches de maintenance critiques dans les usines de puces.
Des robots ont été déployés dans de nombreuses usines de fabrication de plaquettes avancées à travers le monde. Dextro permet une maintenance précise et de haute précision pour réduire les temps d’arrêt des outils et la variabilité de la production. Cela fournit des résultats de première écriture (FTR) significatifs qui peuvent augmenter les rendements dans les usines de fabrication de plaquettes.
En cas de succès, les robots pourraient rendre plus efficace la fabrication de semi-conducteurs – à la base de milliards de dollars de revenus dans l’industrie électronique.
Les équipements de fabrication de plaquettes d’aujourd’hui utilisent une physique, une robotique et une chimie avancées pour créer des semi-conducteurs à l’échelle nanométrique. Une usine typique contient des centaines d’équipements de traitement dont chacun nécessite une maintenance régulière et complexe.
Dextro est conçu pour améliorer la rentabilité de cet équipement en répétant les tâches de maintenance critiques avec une précision inférieure au micron.
« Dextro Semiconductor représente une avancée passionnante dans la maintenance des équipements de fabrication. Conçu pour fonctionner aux côtés des ingénieurs de fabrication, il exécute des tâches de maintenance complexes avec une précision et une répétabilité qui dépassent les seules capacités humaines, permettant une disponibilité des outils et un rendement de fabrication plus élevés », a déclaré Chris Carter, vice-président du groupe du groupe. Lam Research, dans un communiqué. « Il s’agit d’un ajout puissant à la gamme complète d’outils et de services de Lam conçus pour aider les fabricants de puces à optimiser leurs usines en termes de coûts et de productivité.
Alors que la taille des usines, la diversité géographique et la complexité des équipements continuent de croître, les fabricants de puces doivent optimiser l’efficacité de leurs ingénieurs de fabrication en augmentant l’automatisation et en augmentant l’efficacité. Cela devient d’autant plus important que le nombre de postes dans le secteur des semi-conducteurs dans le monde continue de dépasser la disponibilité d’ingénieurs qualifiés.
La précision est importante dans la maintenance des équipements, où une recombinaison précise des sous-systèmes conduit au résultat final. Atteindre le FTR permet d’économiser du temps et de l’argent. Une maintenance fréquente réduit également les déchets associés aux pièces consommables, à la main-d’œuvre et aux temps d’arrêt de la production, ce qui entraîne une moindre variabilité de la production et des rendements plus élevés.
« Lorsque les équipements de fabrication nécessitent une maintenance, le travail doit être effectué rapidement et efficacement pour éviter des temps d’arrêt prolongés des outils et des coûts inutiles », a déclaré Young Joo Kim, vice-président et chef de l’équipe technologique Memory H chez Samsung Electronics, dans un communiqué. « La maintenance sans erreur effectuée par Dextro contribue à améliorer la variabilité et le rendement de la production. Il s’agit d’une étape passionnante dans le parcours de Samsung vers des usines autonomes.
Dextro est une unité mobile dotée d’un bras robotique actionné par un technicien ou un ingénieur de fabrication. Il utilise divers effecteurs finaux pour gérer les tâches de maintenance des équipements critiques qui prennent du temps et sont sujettes à des erreurs si elles sont effectuées manuellement.
Par exemple, il installe et compresse les composants consommables avec plus de deux fois plus de précision.
Précision de l’application manuelle. Une combinaison précise permet de contrôler les performances de gravure au bord de la tranche, améliorant ainsi le rendement.
Dextro serre les boulons de haute précision scellés sous vide selon des spécifications exactes, soulageant ainsi les ingénieurs de fabrication des travaux répétitifs qui présentent un taux d’erreur allant jusqu’à 5 % lorsqu’ils sont effectués manuellement. Le respect précis des spécifications élimine les écarts de température dans la chambre qui peuvent mettre un outil hors production et affecter le rendement de la matrice.
De plus, Dextro élimine l’accumulation de polymère sur les parois latérales de la chambre, sans avoir à démonter la chambre inférieure. Il est important de noter que cela présente un faible risque pour les humains qui, autrement, auraient besoin d’un équipement respiratoire de protection encombrant pour effectuer la tâche manuellement.
Les outils de gravure diélectrique des séries Flex G et H de Lam sont actuellement pris en charge par Dextro, qui se développe
Équipements supplémentaires en 2025 et au-delà.
« Avec l’énorme augmentation de la demande sur le marché des semi-conducteurs d’IA, il est essentiel pour les fabricants de puces de faire fonctionner tous leurs équipements de fabrication aussi efficacement que possible afin de minimiser les temps d’arrêt », a déclaré Bob O’Donnell, président de Technalysis Research. une déclaration. Continuez à le faire. , « La puce Dextro peut automatiser les tâches de nettoyage et de maintenance fastidieuses, longues et souvent complexes sur les équipements de fabrication afin de maximiser la production. « Il offre d’énormes avantages aux entreprises qui choisissent de le déployer. »
Dextro rejoint le portefeuille de solutions intelligentes de Lam qui augmentent l’efficacité et réduisent les coûts d’exploitation des usines de fabrication de semi-conducteurs. Cela inclut les outils de processus Lam Equipment Intelligence avec des capacités d’étalonnage autonomes et de maintenance auto-adaptatives, ainsi que les services Equipment Intelligence qui utilisent les données, l’apprentissage automatique, l’intelligence artificielle et la connaissance du domaine Lam pour obtenir de meilleurs résultats de productivité.
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